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定点电子束刻蚀技术相关论文
定点电子束刻蚀制作一维纳米材料微纳电极的方法
利用扫描电镜的电子束定点刻蚀制作了微纳电极,研究了电子加速电压和照射时间对刻蚀效果的影响。并测量了该结构的电性能。......
会议
一维纳米材料
微纳电极
制备工艺
定点电子束刻蚀技术
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