射频辉光相关论文
设计了一种新的实验设备用于研究发射光谱的射频辉光中原子和离子的空间分布。通过测量沿等离子体羽流的不同原子和离子的发射强度......
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采用容性平行电极板和针管电极相结合的形式实现了超低气压下的射频辉光放电,通过实验探究了10-3 Pa量级下的辉光放电的起辉条件,......
