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平均灵敏度标定相关论文
纳弧度分辨力角位移传感器及平均灵敏度标定
给出了基于六次临界反射棱镜的精密角位移传感器,采用的是差动式结构。实验结果表明,传感器灵敏度高,量程为500μrad,具有5nrad的......
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角位移传感器
纳弧度分辨力
平均灵敏度标定
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