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平滑谱函数相关论文
一种评价CCOS抛光工艺误差抑制能力的方法
结合光学加工中材料去除的卷积模型和功率谱密度函数,建立了描述CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的数学模型——平滑谱函数.利用Ri......
期刊
光学加工
平滑谱函数
功率谱密度
中高频误差
卷积模型
Optical manufacturing
Smoothing spectral function
基于可控柔度磨盘的中高频误差抑制研究
现代光学工程具有显著的极端制造的特征,即在极端技术条件要求的背景下,制造极端尺度或极高功能器件或功能系统的大科学工程。我国......
学位
中高频误差
平滑效应
可控柔度
平滑谱函数
平滑效率
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