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平面定位台相关论文
多轴亚微米级平面定位台的滑模观测器无传感控制
针对Sawyer电机驱动的平面定位台的多轴精密定位问题(X、Y和θz轴),提出了一种新的部分无传感控制方法.用激光干涉仪检测定位台一个......
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平面定位台
滑模观测器
无传感控制
精密定位
planar motion stage sliding mode observer sensorless cont
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