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基于混合特征选择和超参优化的晶圆蚀刻缺陷预测方法
为了提高半导体晶圆制程中缺陷预测的准确率,提出一种混合特征选择和基于序列模型优化(SMBO)相结合的缺陷预测方法。该方法以对高......
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混合特征选择
超参优化
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支持向量机
序列模型优化
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蚀刻缺陷预测
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