微光栅结构相关论文
微光栅结构的制作一直是微加工领域的一个研究热点。由于制作的光栅周期很小,以及成本、环境要求、工艺复杂程度和运行效率等因素,......
利用波长为351nm的半导体泵浦全固态脉冲激光器,采用双光束干涉方法,对蒸镀在石英玻璃衬底上的铬薄膜直接刻蚀形成微光栅结构的方法......
利用波长为351nml的半导体抽运全固态脉冲激光器,采用双光束干涉方法,对金属镍板表面直接刻蚀形成微光栅结构的方法进行了实验研究.通......
自激光出现以来,利用激光进行微细加工一直是该领域的研究热点。纳秒激光具有脉宽窄、功率大和高稳定性等优点,在微加工领域得到了......