微机电系统（MEMS：Micro Electro-Mechanical System）技术或微传感器与微执行器（Micromachined Tranducers）技术，它是在微电子技术的基础......

提出了一种感测单元不直接接触流场的微剪切应力传感器结构，详细阐述了其感测单元MEMS制作工艺。采用热氧化硅掩膜方法解决了硅深刻......