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微型双岛硅膜相关论文
微型双岛硅膜制作中的削角补偿方法研究
针对微型双岛硅膜制作中的凸角削角腐蚀问题,提出了一种新的削角补偿方法-“两端矩形补偿法”,并在感压膜尺寸仅为0.72mm×1mm的双岛硅膜制......
期刊
微型双岛硅膜
削角腐蚀
削角补偿
Micro-twin-island silicon diaphragm Corner undercutting etch Co
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