微型电子机械系统相关论文
本文通过对微流体机械中气体、液体之间的研究模型进行总结分析,认为虽然都是微流体的流动,由于气体和液体本身的性质的差异,不能......
九十年代以来,微米/纳米科学和技术的研究受到了极大的重视,使得微小技术、微型电子机械系统获得迅速的发展,从而大大促进了医疗用......
该文针对目前气体传感器面临的主要障碍--选择性差的问题,提出通过检测被测气体分子的荷质比来区分被测气体从而提高选择性的思想,......
提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计.通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性梁上产生位移、改变检测电容间距......
在微小尺寸范围内,将机械可划分为1~10mm的小型机械,1μm~1mm的微型机械,以及1nm~1μm的纳米机械。所谓微型电子机械系统(Micro Elect......
提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计。通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性粱上产生位移、改变检测电容间距......
对微机电系统在生物医学工程方面的应用进行了研究,探讨了微创外科手术这一研究热点,并采用微型电磁驱动机器人研制出符合微创手术要......
According to the inland micro electro-mechanical system (MEMS) process technique level, a design platform of piezoresist......
在离世界闻名的圣安得里斯大断层仅5千米之遥的美国施乐公司的研究中心,摆放着一个极小但意义重大的模型。这个模型上布满着由电线......
总结了目前在单晶硅表面构建的几类典型的分子自组装膜,并着重介绍了近十几年里各类自组装膜在摩擦学性能研究方面所取得的进展。......