微定位器相关论文
微定位器是微机械系统精密加工、纳米技术的重要组成部分,柔性铰链结构则是微定位器的核心部件.利用有限元分析软件ANSYS,对两种常......
微定位器是精密加工、纳米技术的重要组成部分,柔性机构则是微定位器的核心部件.本文利用有限元分析软件ANSYS对传统的基于柔性铰......
纳米致式电磁致动器工作原理,给出冲击式电磁致动器的一些典型结构,并介绍一种新原理组合式致动器.......
用于纳米制造具有xyz微定位的扫描探针显微镜张鸿海,曹伟,师汉民,陈日曜(华中理工大学)扫描探针显微镜已广泛用于纳米级尺度的检测,同时也能......