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微弱电流采集相关论文
嵌入式静电键合监测与控制系统的设计与研究
静电键合作为MEMS的关键封装技术之一,广泛应用于MEMS器件的制备,同时静电键合设备是静电键合技术实现的基础。然而现有键合设备存......
学位
静电键合
uCOSii
微弱电流采集
PID
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