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微折射结构相关论文
基于硅的湿法腐蚀特性仿真与制作微折射结构
硅在氢氧化钾溶液中呈各向异性腐蚀特性,利用此特性可以制作多种非球面、非对称的微光学折射结构。通过计算机对此特性进行模拟与......
学位
各向异性腐蚀
微折射结构
仿真
贪心算法
凹微镜阵列
波前结构
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