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微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成高度的特点。近十年来，在研制、开发及市场扩大方面......
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微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得......
