微机械杠杆相关论文
近年来，硅微机械陀螺因其广泛的军事应用背景和商业价值成为一个倍受关注的研究热点。为提高硅微机械陀螺的性能，各国提出了各种结构......
硅微谐振式加速度计将被测加速度信号转换为谐振器频率的变化，直接输出数字信号，具有很高的灵敏度和分辨率，是一种具有潜在高精度特性......
硅微谐振式加速度计是一种高精度的惯性传感器,它通过谐振梁刚度随惯性力的变化检测输入加速度的大小。为了得到较高的标度因数,国......
