微机械泵相关论文
在介绍硅微电子机械学的同时,给出了硅微电子机械加工方法和微小器件实例。...
根据薄板的弹性振动理论和流体动力学理论，建立了能完整描述振膜式微机械泵的动态解析模型。导出了吸入过程和排出过程的流量、压力......
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