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微机电系统(MEMS)压电指向性传声器相关论文
MEMS压电指向性传声器仿真与性能优化
为提高微机电系统(ME MS)压电指向性传声器的声压灵敏度,该文采用有限元法对一种ME MS压电指向性传声器进行了仿真与性能优化.对于......
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有限元方法
微机电系统(MEMS)压电指向性传声器
压电结构
灵敏度
特征频率
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