切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
微槽工艺相关论文
SILICON MICRO-TRENCH ETCHING USING HIGH-DENSITY PLASMA ETCHER
Dry etching of silicon is an essential process step for the fabrication of Microelectromechancal system (MEMS) The AZ722......
期刊
RIE
硅刻蚀
微槽工艺
光子抗性
半导体加工
deep RIE
silicon etching
micro-trench
photo-resist
看过本文同时还关注
如何写好一篇毕业论文
免费论文查重的方法
从零开始写毕业论文的方法
热心助人的动物
第一届全国脊柱脊髓基础研究及临床...
2004世界科技七大看点
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物