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微电子机械加工技术(MEMS)相关论文
一种新型的光寻址电位传感器研究
依据光寻址电位传感器 (LAPS)工作原理和光生载流子在硅片中扩散理论 ,提出了一种正面光照的LAPS新结构设计 ,在正面光照方式的测......
期刊
光寻址电位传感器(LAPS)
微电子机械加工技术(MEMS)
阵列芯片
光电流
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