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微观摩擦磨损行为相关论文

单晶硅氩离子注入层的微观结构和微观摩擦磨损行为

利用离子注入技术对单晶硅表面进行了氩离子注入,用微摩擦磨损实验机研究了改性层的摩擦磨损行为,并用透射电子显微镜研究了改性层......

期刊

单晶硅离子注入表面改性微观结构微观摩擦磨损行为微型机电系统氩离子半导体 single-crystal silicon ion implantati

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