微辐射热计相关论文
该文叙述低成本非制冷的硅微辐射热计焦平面阵列长波(8～12m)红个探测器的结构、性能和应用。低成本、高性能、体积小、重量轻、低维......
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叙述了用微细加工技术制作的非致冷单片式半导体薄膜电阻辐射热红外探测器的结构模型。基于模型所预测的性能与实验结果相符合。性......
针对四臂微桥结构的微辐射热计的光学和热学设计 ,分析了SiO2 红外吸收层 /poly Si热敏感薄膜电阻层 /SiO2 支撑薄膜层的多层薄膜......
