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准分子激光微细加工微锥体的旋转抛磨加工法
介绍了一种采用准分子激光进行微细加工微锥体技术的新方法,并利用该方法在有机玻璃上制作质谱分离芯片电喷尖的实验.该方法借鉴了......
期刊
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微锥体
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micromachining
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