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一种用于红外光电系统的新型压电陶瓷扫描镜的反馈控制
由于高精度位移传感器体积大、价格高,系统传递函数复杂难以辨识等因素,目前对于压电驱动的FSM大多通过前馈补偿的方法进行开环控制......
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