用Ｔｉ／Ｍｏ，Ｔｉ／Ｗ和Ｔｉ／Ｍｅ（Ｍｅ为Ｆｅ－Ｃｒ－Ａｌ合金）复合靶采用真空电弧技术沉积了多元膜，并对成分离析效应及组织和性能进行了研究。结果表明，工作弧电流和阴极镶嵌体的弧斑......