扫描干涉光刻相关论文
为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调......
大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变装置和大型天文望远镜等高端设备投入使用的前提,扫描干涉光刻技术......
单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高.本文综述了单体......
扫描干涉光刻(SBIL)是实现大面积高精度全息光栅制作的新技术,为实现纳米级干涉条纹精度,左右两侧曝光光路的对称性十分关键,为准......
开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精......
大口径高精度平面光栅在高端光刻机工件台、大型天文望远镜以及激光脉冲压缩器等重大民生及国防科学中均有重要应用。扫描干涉光刻......
衍射光栅是一种重要的光学器件,在许多研究领域和工程项目中都有着广泛的应用,在这其中对大尺寸衍射光栅的需求更为迫切。扫描干涉......
扫描干涉光刻技术作为一项现代大面积高精度光栅制造的主流技术,兼具创新性和高效性,不论是制造精度还是制造效率均处于光栅制造技......
扫描干涉光刻机移相锁定是实现大面积高精度全息光栅曝光拼接的关键之一。为了实现大面积高精度全息光栅高精度曝光拼接,针对扫描......
