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抗电子注入能力相关论文

富氮SiOxNy膜的电子注入特性

通过施加直流电压于P型SiOxNy薄膜，使热电子注入到薄膜而引起薄膜电学参数的改变.测试了薄膜在电子注入前后电学参数的变化，以研究薄......

期刊

等离子体增强化学气相淀积俄歇电子能谱红外光谱电学参数富氮SIOXNY膜抗电子注入能力 SiOxNy film Plasma Enhanced Che

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