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抗蚀剂填充相关论文
微压印中抗蚀剂填充行为研究
为了提高微压印的质量,改进工艺参数优化模具结构,对微压印抗蚀剂的填充行为进行了数值计算和可视化实验研究。实验在三维离焦数字......
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抗蚀剂填充
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