采用氩离子束刻蚀制作与一种１２８×１２ ＰｔＳｉ ＩＲＣＣＤ摄像芯片匹配的单片硅折射微透镜阵列，所制成的微小光学阵列元年的充系数高于９５％，每单元硅折射微......