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由于微米/纳米机电系统(MEMS/NEMS)尺寸方面的特点和制造方面的原因,当对其施加一静电场时,它除了受到静电力外还不可避免地受到真......
该文用解析法分析了有初始应力的导电直梁在静电作用下横向弯曲的小挠度行为，并用能量法对大挠度行为进行挠度、阈值电压和临界压缩......
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