振动环形相关论文
硅微陀螺仪是近十几年发展起来的一种新型陀螺仪，它具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高、数字化等一系列优点。因此，硅微陀螺仪在......
本文对振动环形陀螺的设计和定标限度及采用复合整体和表面微加工技术的完成情况作了详细分析。采用高纵横比ｐ＋＋（深层硼扩散）／多晶硅沟槽......
