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MEMS音叉陀螺结构振动非线性及抑制技术研究
MEMS陀螺仪具有体积小、重量轻、成本低等优点,在军事、民用领域内都有着非常广阔的应用前景,自诞生起一直就是各国的研究热点之一......
学位
MEMS陀螺
振动非线性
振幅临界值
设计与实现
版图设计
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