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掺硼磷硅玻璃(BPSG)相关论文
用X射线晶片分析器同时测定硅片上薄膜的厚度及组成
晶片专用X射线荧光分析装置在半导体工业中被用于多种工程的评价。在半导体分析中XRF法的显著特征是能分析各种薄膜(氧化膜、硅化物......
期刊
掺硼磷硅玻璃(BPSG)
钨硅化物
X射线荧光光谱法(XRF)
基本参数(FP)法
晶体分析器
半导体
boron-doped phospho-silicate
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