支撑损耗相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

支撑损耗相关论文

一种MEMS体声波硅谐振器的设计

设计了一种基于SOI衬底工艺的MEMS体声波硅谐振器及其制造方法。利用有限元分析软件对该谐振器进行了模态分析,并针对提高品质因数......

期刊

MEMS 体声波硅谐振器有限元分析传输线品质因数支撑损耗 MEMS silicon bulk acoustic wave resonator FEA

摇摆质量微陀螺关键技术研究

摇摆质量微陀螺采用了轴对称的傅科摆结构和沿中性面对称的棒状振动质量结构，其驱动模态和检测模态为轴对称弹性体的正交降阶模式。......

学位

摇摆质量微陀螺固有频率能量损耗机理支撑损耗品质因子结构灵敏度预埋掩膜

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