数字掩模相关论文
在微型光学元件制造中,光刻技术经历了从掩模时代到无掩模时代的发展,随着微机电系统(MEMS)的不断发展,无掩模光刻技术的发展被推......
随着光电子技术的迅速发展，以及光、机、电一体化的发展趋势，对光学系统及其元器件提出了微型化、阵列化与集成化的应用要求。微光学......
信息时代对器件的微型化、轻量化、集成化的迫切需求，极大地推动了微细加工技术的发展，以微光学、微电子、微机械为基础的MEMS和MOEM......
提出了一种新的基于数字微镜的无掩模光刻技术,将以往的模拟掩模发展为数字掩模,为大规模、快速、灵活制作衍射微光学元件开辟了一......
数字掩模技术的核心器件是数字微镜芯片，它具有较高的分辨率和灰度等级等优点。利用计算机辅助设计绘制的掩模图形经IO口输入到数字......
数字掩模技术是一种很有发展前途的衍射微光学元件制作技术。实际制作时,由于感光材料具有感光非线性,实际可利用的灰度数目将小于......
随着微纳加工技术的不断发展,其对光刻技术提出了新的要求,步进投影数字光刻技术作为光刻技术的重要分支,在光刻发展的过程中,扮演......
以基于数字微镜器件（DMD）的数字掩模技术为基础,以三（2-苯基吡啶）合铱（Ir（ppy）3）为光氧化还原催化剂,以低聚（乙二醇）甲基丙烯酸酯为单体,通过......
提出了一种新的基于数字微镜的无掩模光刻技术，将以往的模拟掩模发展为数字掩模，为大规模、快速、灵活制作衍射微光学元件开辟了一条......
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曲面3D微结构有着紧凑的结构、独特的色散性能以及灵活的设计自由度等优点,已经逐渐发展成为现代工业及国防科技领域重要的基础器......
