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无应力抛光相关论文

65mn技术节点的CMP技术

概述了全球CMP设备市场和65nm技术节点CMP技术面临的挑战，给出了65nm技术节点铜工艺的解决方案及CMP后清洗技术。......

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CMP设备市场 65nm节点铜互连电化学机械抛光无应力抛光后CMP清洗 CMP 65nm Node： Cu interconnect ECMP

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