系统采用了显微干涉技术 ,利用Mirau显微干涉仪配合频闪照明系统实现了对MEMS器件动态特性的测量 ,测量过程采用了光学干涉的非接......

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很多MEMS器件必须工作在真空或特定气氛下,但是MEMS器件在封装以后性能会发生一些改变。表面形貌测试是微结构离面运动测量和变形......