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显微运动测量相关论文
微型光热驱动机构及其显微运动测量研究
提出微型光热驱动机构(PTMA)及其显微运动测量的新方法,设计与微加工制作一种长度为1.5mm的非对称型PTMA,并开展光热驱动的实验研......
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微型光热驱动机构
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