晶向检测相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

晶向检测相关论文

基于微纳操控的石墨烯纳米器件制造基础理论与关键技术研究

随着微电子器件微型化的进程，‘硅工艺’正面临着严峻的挑战。而新兴的纳米制造技术将突破传统半导体制造工艺的极限，克服短通道效应......

学位

石墨烯纳米器件制造技术纳米操作机器人晶向检测规模化装配

一种新型切割装置及工艺研究

传统切割工艺存在很多缺陷,文章介绍一种新型在线调晶检测切割装置及工艺,可以提高晶片的晶向精度、切片质量和成品率.通过碳化硅......

期刊

切割工艺晶向调节晶向检测

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