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晶面腐蚀相关论文

碘过饱和KOH溶液对硅（110）晶面腐蚀的改善

将非金属元素碘作为硅的KOH腐蚀液的添加物,在对(100)和(110)单晶硅片的各向异性腐蚀中,获得了更为丰富的异向腐蚀特性和更为光滑......

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碘添加物氢氧化钾刻蚀表面光洁度各向异性腐蚀 KOH 110晶面晶面腐蚀 laser beam image elastic diaphragm strai

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