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探讨了曲面激光直写系统中的光焦点定位控制方法。曲面激光直写中光焦点的定位控制要求定位范围毫米级,而定位精度则在亚微米级,因......
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本课题搭建了一套新型兼顾直角坐标与极坐标的激光直写系统,该系统与以往的常规直写系统不同,通过创新的恒姿态结构,以光刻光路与......
表面微结构衍射光学元件在现代光学系统中的应用越来越广泛。利用衍射光学元件所具有的波前复振幅调制作用以及独特的衍射色散与温......
