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曲面金刚石膜相关论文
等离子体稳定性对曲面金刚石膜生长的影响
采用直流等离子体喷射化学气相沉积(DCPJCVD)制备曲面金刚石膜,等离子体稳定性对金刚石膜生长十分重要。研究表明,曲面金刚石膜长时......
期刊
曲面金刚石膜
CVD
直流等离子体
稳定性
convex diamond film
CVD
DC-plasma
stability
CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究
本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD, Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)方法,制备CVD曲面多晶金刚石膜和单晶金刚......
学位
MPCVD
曲面金刚石膜
同质外延
单晶金刚石
TiO2纳米管
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