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本文主要介绍了一种闭锁电热微开关的制备及性能测试。利用双层膜电热微驱动器,基于双悬臂梁的结构设计,实现开关的驱动和闭锁。采......
转子上的不平衡会给位标器陀螺带来振动和绕动，影响系统的性能和寿命。以前应用较多的自由状态下的调动平衡的方法，设备繁多。试验过......
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MEMS微开关是采用MEMS技术制备的一类重要的元器件。它与传统的开关相比,具有体积小、功耗低、接触电阻小、响应速度快、易于电路......
