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实验表明 ,辉光放电产生的等离子体对硅、Ti N、Si C等材料具有明显的提纯效果 ,对其进行了讨论 ,并指出应用前景。
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实验表明，辉光放电产生的等离子体对硅、ＴｉＮ，ＳｉＣ等材料具有明显的提纯效果，对其进行了讨论，并指出应用前景。......
