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极微小颗粒缺陷相关论文
28 nm锗硅工艺极微小颗粒缺陷监控方法与改善措施研究
针对28 nm产品锗硅工艺产生的极微小颗粒缺陷,应用光学检测系统,探索了缺陷检测方法,建立缺陷的在线监控指标。据此建立缺陷失效模......
期刊
集成电路制造
锗硅工艺
极微小颗粒缺陷
缺陷检测方法
28nm产品
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