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ZrO2溅射膜的柱状生长机制
气相沉积ZrO2膜常为柱状结构, 要更好地控制ZrO2膜性能, 需要研究ZrO2膜中柱状结构的形成和演化规律. 在射频溅射条件下沉积了ZrO2......
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氧化锆
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柱状生长机制
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