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栅氧化层的可靠性相关论文
一种改善由隧穿氧化层氮化技术引起栅氧化层衰退的方法
隧穿氧化层在闪存器件中占有关键的地位,它极大地影响着闪存器件的循环擦写以及保持电子的能力。在形成隧穿氧化层的制程中,通常会......
期刊
闪存
隧穿氧化层的氮化
氮残留
过量湿法蚀刻
栅氧化层的可靠性
flash tunnel oxide nitridation nitrogen residue
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