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梁-质量块结构微加速度计相关论文
(100)面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式
为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的......
期刊
梁-质量块结构微加速度计
湿法腐蚀
凸角补偿
各向异性腐蚀
beam-mass structure micro accelerometer wet etchin
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