在导出静电驱动力表达式的基础上，论述微机械梳状驱动陀螺仪的工作原理和动力学方程，并说明了陀螺仪参数对测量灵敏度的影响．......

本文主要介绍MEMS光开关4种静电驱动的不同结构,及其各自在光开关性能上的优势与不足,这对MEMS光开关的设计研究具有参考价值.......

Viscous damping is a dominant source of energy dissipation in laterally oscillating micro-structures. In microresonators......

定性地讨论了微机械梳状驱动音叉陀螺特有的一些误差源，主要有微机械结合的Ｂｒｏｗｎｉａｎ噪声，电路噪声，机械耦合误差及电子机械耦合误差等。对上述......