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微电子机械器件中槽板结构压膜空气阻尼的计算
对许多微传感器和微执行器(如微加速度计、微麦克风以及微开关等),压膜空气阻尼对器件性能有重要影响.分析MEMS器件压膜空气阻尼的......
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压膜空气阻尼
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