气敏性测试相关硕士博士期刊学术论文

本实验通过双槽电化学腐蚀法生长多孔硅(PS),采用浸渍沉积法分别制备纳米Cu、Ag、Zn／多孔硅复合气敏薄膜,进而制成电阻式气体传感器......